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先普16年国产化经验
专注为半导体行业提供ppb级别气体纯化产品
9NS系列
产品简介
9NS系列高性能气体纯化系统由气路和电控两部分所组成。气路部分主要由多组并联的催化剂气体纯化单元和一系列气动阀门、气体管路和散热器所组成。纯化系统采用化学反应与物理吸附相结合的方法在常温下将工艺气体中的H2O, O2, CO, CO2, NMHC, H2等杂质去除到1ppb以下，可配置过滤精度为0.003微米的颗粒过滤器。电控部分主要由PLC、温度控制器和触摸屏等所组成，负责控制系统的纯化、再生和安全报警等过程，确保纯化系统能够持续安全稳定地运行。
产品特点
- 流量范围10-20000Nm3/h
- 出口气体中各杂质含量小于1ppb
- 可配置0.003微米过滤器
- 316L SS EP纯化罐
- 多组纯化单元设计，饱和后原位再生
- 全程自动运行，连续供气
纯化指标
| 气体类型* | 可纯化气体* | 去除杂质 | 纯化指标 |
| 惰性气体 -I | N2, Ar, He, Xe, Ne, Kr | H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC | <1ppb |
| 氧气 -O | O2, CDA | H2O, CO2, H2, NMHC | |
| 氢气 -H | H2 H2与惰性气体混合气 |
H2O, O2, CO, CO2, NMHC |
*表格中仅列出典型的气体类型和常见的可纯化气体，更多气体纯化应用请与先普联系。
型号说明
| 产品型号 | 常规流量 (Nm3/h) |
最大压力 (MPa) |
最大压差 (MPa) |
颗粒过滤器 (μm) |
| 9NS010-060 | 10, 20, 30, 40, 60 | 1.0 | 0.1 | 0.003 |
| 9NS100-2000 | 100, 150, 200, 300, 400, 600, 800, 1000, 1500, 2000 |
1.0 | 0.1 | 0.003 |
| 9NS3000-8000 | 3000, 4000, 6000, 8000 | 1.0 | 0.1 | N/A |
| 9NS10000-20000 | 10000, 15000, 20000 | 1.0 | 0.1 | N/A |
表格中仅列出标准流量、指标和配置，更多特殊要求请与先普联系。
产品应用
- 大规模集成电路制造
- 半导体分立器件制造
- 大尺寸硅片、衬底、外延片生产
- LED、激光器制造
- 平板显示器生产
- 高效太阳能电池生产
- 光纤预制棒生产
- 众多半导体工艺设备配套
- 超高纯气体、混合气体和标准气体生产
- 吹扫气体、载气及零点气体纯化
- 大学和研究所等科研机构产品研发
